ThiNganHang Sách - Tài liệu thi tuyển
30 câu trắc nghiệm Quản trị nguồn nhân lực (Có Đáp án)
125948
1161
0
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN
LỜI CẢM ƠN
DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT
DANH MỤC HÌNH VẼ
DANH MỤC BẢNG
MỞ ĐẦU……………………………………………………………………...1
Chương 1: TỔNG QUAN ............................................................................. 11
1.1. Giới thiệu về oxit thiếc cấu trúc nano ...................................................... 11
1.1.1. Oxit thiếc (SnO2
) ........................................................................... 11
1.1.1.1. Cấu trúc tinh thể của SnO2
........................................................ 11
1.1.1.2. Cấu trúc vùng năng lượng của SnO2
......................................... 12
1.1.1.3. Tính chất của tinh thể SnO2
...................................................... 13
1.1.2. Vật liệu SnO2 – Vật liệu oxit kim loại trong suốt dẫn điện .......... 14
1.2. Kỹ thuật chế tạo màng mỏng và phương pháp khảo sát mẫu .................. 16
1.2.1. Phát triển màng mỏng oxit thiếc bằng công nghệ lắng đọng đơn lớp
nguyên tử ở áp suất khí quyển (AP-SALD) ............................................ 16
1.2.1.1. Tổng quan về AP-SALD ............................................................. 16
1.2.1.2. Hệ thống AP-SALD tại Trường Đại học Phenikaa .................... 24
1.2.1.3. Hệ phức hợp ALD-CVD tại Trường Đại học Phenikaa ........... 25
1.2.2. Một số phương pháp khảo sát mẫu ............................................... 26
1.2.2.1. Các phép đo điện Van der Pauw ............................................... 26
1.2.2.2. Các phép đo cấu trúc và tính chất màng .................................. 32
1.2.2.3. Đo độ truyền qua UV-Vis .......................................................... 39
1.3. Mô phỏng đầu phun khí AP-SALD ......................................................... 41
1.3.1. Khái quát chung Comsol Multiphysics ......................................... 41
1.3.2. Nguyên lý hoạt động phần mềm Comsol Multiphysics ............... 42
CHƯƠNG 2: MÔ PHỎNG VÀ THỰC NGHIỆM ..................................... 45
2.1. Đầu phun khí AP-SALD bằng Comsol Multiphysics .............................. 45
2.2. Thực nghiệm ............................................................................................ 48
2.2.1. Hóa chất và thiết bị chế tạo mẫu ................................................... 48
2.2.1.1. Hóa chất ..................................................................................... 48