MỤC LỤC
	TRANG PHỤ BÌA
	LỜI CAM ĐOAN
	LỜI CẢM ƠN
	MỤC LỤC
	DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỮ VIẾT TẮT
	DANH MỤC CÁC BẢNG, HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ
	MỞ ĐẦU  ..........................................................................................................  1
	1.  Lý do chọn đề tài  ...............................................................................  1
	2.  Mục tiêu nghiên cứu  ..........................................................................  4
	3.  Đối tượng và phạm vi nghiên cứu  .....................................................  4
	4.  Phương pháp nghiên cứu  ...................................................................  5
	5.  Cấu trúc luận văn  ...............................................................................  5
	CHƯƠNG 1.  TỔNG QUAN LÝ THUYẾT  ................................................  6
	1.1.  Tổng quan về vật liệu titanium oxide, titanium nitride  .....................  6
	1.1.1.  Tổng quan về vật liệu titanium oxide .........................................  6
	1.1.1.1.  Một số tính chất của vật liệu titanium oxide  .........................  6
	1.1.1.2.  Một số phương pháp chế tạo vật liệu nano titanium oxide  ..  9
	1.1.2.  Tổng quan về vật liệu titanium nitride  ......................................  10
	1.1.2.1.  Tính chất vật lý của titanium nitride:  ...................................  10
	1.1.2.2.  Tính chất hóa học của titanium nitride:  ...............................  12
	1.1.3. Một số phương pháp chế tạo vật liệu titanium nitride  ..............  12
	1.1.3.1.  Phương pháp tổng hợp TiN bằng lò phản ứng nhiệt plasma..12
	1.1.3.2.  Phương pháp tổng hợp TiN bằng phản ứng tự duy trì  ........  13
	1.1.3.3.  Phương pháp tổng hợp TiN ở nhiệt độ thấp  ........................  14 
	1.1.3.4.  Phương pháp nito hóa trực tiếp từ TiO2
	(CVD)  ..................  14
	1.1.3.5.  Phương pháp tổng hợp TiN bằng kỹ thuật trào ngược  .......  15
	1.1.3.6.  Phương pháp tổng hợp TiN từ phản ứng titan và ure  .........  15
	1.1.3.7.  Phương pháp tổng hợp TiN từ titan oxit với natri amit  ......  16
	1.1.4. Một số ứng dụng của vật liệu titanium nitride  ..........................  16
	1.1.4.1.  Ứng dụng của vật liệu khối TiN  ...........................................  16
	1.1.4.2.  Ứng dụng của vật liệu TiN kích thước nano  .......................  17
	1.2.  Tổng quan về vật liệu zirconium oxide, zirconium nitride  .............  18
	1.2.1.  Tính chất vật liệu zirconium oxide  ...........................................  18
	1.2.1.1.  Một số tính chất của vật liệu zirconium oxide  ....................  19
	1.2.1.2.  Một số phương pháp chế tạo vật liệu nano ZrO2
	................  22
	1.2.2.  Tổng quan vật liệu zirconium nitride  ........................................  23
	1.2.2.1.  Tính chất vật lý của zirconium nitride  .................................  23
	1.2.2.2.  Tính chất hóa học của zirconium nitride  .............................  25
	1.2.3. Một số phương pháp tổng hợp vật liệu ZrN  .............................  25
	1.2.3.1.  Tổng hợp ZrN bằng phương pháp nitrat hóa trực tiếp kim 
	loại Zr với Nitơ   .....................................................................................  25
	1.2.3.2.  Tổng hợp ZrN bằng phương pháp nghiền bi phản ứng năng 
	lượng cao (RBM) ..................................................................................  27
	1.2.3.3.  Tổng hợp ZrN bằng phương pháp plasma vi sóng .  ...........  27
	1.2.3.4.  Tổng hợp ZrN bằng phương pháp nhiệt benzen   ................  28
	1.2.3.5.  Tổng hợp ZrN bằng phương pháp nitrat hóa nhôm   ...........  29
	1.2.3.6.  Tổng hợp ZrN bằng quá trình khử nhiệt magie   .................  30
	1.2.4. Một số ứng dụng của vật liệu ZrN  ............................................  30